新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質
横型イージーローディング、メタルヒータークリーン設計
VES型 縦型高温真空焼結炉
VES-2100型 / VES-2200型
特 長
▶高温真空炉のトップメーカー東京真空が多数の納入実績のなかから厳選してシリーズ化したのが、VES型高温真空焼結炉です。
▶メタルヒーター、メタル反射板のクリーン設計、均熱向上設計、上面扉全開方式によるイージーローディングなど、お客様のマルチなニーズに100%お応えできる装置です。
DEVICE INFORMATION
▶縦型、上面扉全開方式のため試料の装着、取出しが容易です。
▶タングステンヒーター、タングステン主体反射板の構成により、それらからの脱ガス量が少なく、高性能排気系の採用で高真空クリーン環境での処理が可能です。
▶ヒーターは円筒板ヒーター又はメッシュヒーターとし、炉内均熱度は最高です。
▶多数の実績のある真空高温炉から厳選してシリーズ化したもので、短納期、定価額、高性能、高信頼性でお客様のニーズにお応えします。
▶豊富なオプションにより多様な仕様拡大が計れます。
性能・仕様
| 型 式 | VES-2100 | VES-2200 |
| 到達真空度 | 10⁻⁴Pa台(常温・空積) | |
| 温 度 | 最高2,000~常用1,800℃ | 最高2,000~常用1,800℃ |
| 均 熱 | ±10℃(炉体軸中心3点、常用温度) | |
| 有効均熱体 | φ100×100H | φ200×300H |
| 真空槽寸法 | φ450×520H | φ550×700H |
| ヒーター制御 | デジタルプログラムPID温調計 1台 放射温度計 1台 制御用熱電対(WRe-5-26) 1対 | |
| ヒーター | タングステン板ヒーター又はWメッシュヒーター | |
| 標準排気系 | 自動、手動 6インチ油拡散ポンプ 600l/minロータリーポンプ | 自動、手動 8インチ油拡散ポンプ 900l/minロータリーポンプ |
| 標準附属 | 電離真空計、ピラニ真空計、連成計、記録計（6打点）、 100mm幅ハイブリッド型 | |
| 雰囲気 | 真空、不活性ガス（N2、Ar）0.2kgf/cm2G以下 | |
| 標準附属ガス導入系 | 1系統、流量計、手動流量調節弁、5l/min以下 | |
| 電力(200V、3P） | 38kW | 50kW |
| 冷却水(25℃) | 25 l/min | 35 l/min |
| 装置標準寸法 | 1,000W×950D ×1,200H | 1,600W×1,600D ×1,670H |
| オプション | 大容量排気系(大口径油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ)、 ガス導入系増設 高性能排気系(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ)、 ガス流量調節(マスフローコントローラー） 自動排気系(プログラムシーケンサ)、ガス精製装置(脱酸素、脱水分) その他多機能のオプション仕様に付いては“お問合わせ”でご連絡下さい。 | |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
▶真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置