縦型真空雰囲気炉(VES型)

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  • 縦型高温真空焼結炉VES-2100

横型イージーローディング、メタルヒータークリーン設計


VES型  縦型高温真空焼結炉


VES-2100型 / VES-2200型


特 長

高温真空炉のトップメーカー東京真空が多数の納入実績のなかから厳選してシリーズ化したのが、VES型高温真空焼結炉です。
メタルヒーター、メタル反射板のクリーン設計、均熱向上設計、上面扉全開方式によるイージーローディングなど、お客様のマルチなニーズに100%お応えできる装置です。
DEVICE INFORMATION
縦型、上面扉全開方式のため試料の装着、取出しが容易です。
タングステンヒーター、タングステン主体反射板の構成により、それらからの脱ガス量が少なく、高性能排気系の採用で高真空クリーン環境での処理が可能です。
ヒーターは円筒板ヒーター又はメッシュヒーターとし、炉内均熱度は最高です。
多数の実績のある真空高温炉から厳選してシリーズ化したもので、短納期、定価額、高性能、高信頼性でお客様のニーズにお応えします。
豊富なオプションにより多様な仕様拡大が計れます。

性能・仕様

 

型 式 VES-2100 VES-2200
到達真空度 10⁻⁴Pa台(常温・空積)
温 度 最高2,000~常用1,800℃ 最高2,000~常用1,800℃
均 熱 ±10℃(炉体軸中心3点、常用温度)
有効均熱体 φ100×100H φ200×300H
真空槽寸法 φ450×520H φ550×700H
ヒーター制御 デジタルプログラムPID温調計 1台
放射温度計 1台
制御用熱電対(WRe-5-26) 1対
ヒーター タングステン板ヒーター又はWメッシュヒーター
標準排気系 自動、手動
6インチ油拡散ポンプ
600l/minロータリーポンプ
自動、手動
8インチ油拡散ポンプ
900l/minロータリーポンプ
標準附属 電離真空計、ピラニ真空計、連成計、記録計(6打点)、
100mm幅ハイブリッド型
雰囲気 真空、不活性ガス(N2、Ar)0.2kgf/cm2G以下
標準附属ガス導入系 1系統、流量計、手動流量調節弁、5l/min以下
電力(200V、3P) 38kW 50kW
冷却水(25℃) 25 l/min 35 l/min
装置標準寸法 1,000W×950D
×1,200H
1,600W×1,600D
×1,670H
オプション 大容量排気系(大口径油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ)、
ガス導入系増設
高性能排気系(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ)、
ガス流量調節(マスフローコントローラー)
自動排気系(プログラムシーケンサ)、ガス精製装置(脱酸素、脱水分)
その他多機能のオプション仕様に付いては“お問合わせ”でご連絡下さい。
営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置