小型真空蒸着装置(EG-200型)

小型真空蒸着装置電子顕微鏡用真空蒸着装置

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小型真空蒸着装置電子顕微鏡用真空蒸着装置


EG-200 / EG-200GB


特 長

真空蒸着装置(EG-200型)は、電子顕微鏡の試料作成に重要な役割をもち、コロジオン膜のカーボン補強、カーボンレプリカ膜、レプリカや生体高分子などのシャドーイング、フリーズレプリカの作製、蒸着薄膜の作製など、きわめて広い用途をもっています。
電動ジンバル機構付真空蒸着装置(EG-200GB型)は、走査電子顕微鏡の試料作製に適した装置です。走査電子顕微鏡の試料、その表面の導電性と2次電子発生の効率を高めるため、試料表面に薄い金属コーティングを行いますが、電動ジンバル機構は、試料の傾斜、回転、方位回転の組合わせ運動を自動的に行うことができ、複雑な形状の試料でも、薄く、均一にコーティングすることができます。

▶1. コールドトラップ(液体窒素容量0.5l)
▶2. 伝導ジンバル機構(EG-200GB型では標準組込み)
試料サイズ:
38,26,14mmφ(14φの場合は同時に4個装着可能)
試料台:全方位傾斜回転方式
傾斜角:0~40°
任意設定可能
モーター駆動
試料回転速度:1,2rps
方位回転速度:1/3,2/3rps
▶3. フリーズレプリカ装置HFZ-1型
試料台:全方位傾斜回転方式
傾斜角:0~40°
任意設定可能
モーター駆動
試料回転速度:1,2rps
方位回転速度:1/3,2/3rps
▶4. 高温度昇温機能
生物組織等の含水状態のままのレプリカ作製、低融点物質、可塑性物質の破断面レプリカの作製などに有効です。HFZ-1型用付属装置のFE-1型エッチングユニットを使用すれば、表面昇華によるエッチングの機能が付加できます。
▶5. 蒸着膜厚モニタ
ジンバル機構に組込むことのできる専用の膜厚モニタです。水晶発振子をモニタとして、周波数変化により膜厚を測定します。取付には、フィードスルを必要とします。

 

小型真空蒸着装置電子顕微鏡用真空蒸着装置

性能・仕様

 

ベルジャー ベルジャー上下機構付
軟質ガラス製(保護カバー付)
Φ246〈Φ230)×240H
到達真空度 ×10⁻⁴Pa以下(LN2使用)
排気系 手動操作
油回転ポンプ  C-150型
油拡散ポンプ  OFJ-25N型
LN2トラップ  NS-65S型
蒸着用端子 100A用2対
1基2対用切換スイッチ付
(0~30V×50A)
シャッター機構 1式
試料台 100角  1式
真空計 ペニング真空計
電離真空計  HI-801型
所要電力 100V  50Hz  3KVA
冷却水 2l/min
重  量 150kg
寸  法 W650×D850×1,300H
標準内訳

 

本  体 EG-200型
油回転ポンプ 1台
水道ホース 20m
電源コード 10m
営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置