小型真空蒸着装置電子顕微鏡用真空蒸着装置
小型真空蒸着装置電子顕微鏡用真空蒸着装置
EG-200 / EG-200GB
特 長
真空蒸着装置(EG-200型)は、電子顕微鏡の試料作成に重要な役割をもち、コロジオン膜のカーボン補強、カーボンレプリカ膜、レプリカや生体高分子などのシャドーイング、フリーズレプリカの作製、蒸着薄膜の作製など、きわめて広い用途をもっています。
電動ジンバル機構付真空蒸着装置(EG-200GB型)は、走査電子顕微鏡の試料作製に適した装置です。走査電子顕微鏡の試料、その表面の導電性と2次電子発生の効率を高めるため、試料表面に薄い金属コーティングを行いますが、電動ジンバル機構は、試料の傾斜、回転、方位回転の組合わせ運動を自動的に行うことができ、複雑な形状の試料でも、薄く、均一にコーティングすることができます。
| ▶1. | コールドトラップ(液体窒素容量0.5l) |
| ▶2. | 伝導ジンバル機構(EG-200GB型では標準組込み) |
| 試料サイズ： 38,26,14mmφ(14φの場合は同時に4個装着可能) | |
| 試料台：全方位傾斜回転方式 傾斜角：0~40° 任意設定可能 モーター駆動 試料回転速度：1,2rps 方位回転速度：1/3,2/3rps | |
| ▶3. | フリーズレプリカ装置HFZ-1型 |
| 試料台：全方位傾斜回転方式 傾斜角：0~40° 任意設定可能 モーター駆動 試料回転速度：1,2rps 方位回転速度：1/3,2/3rps | |
| ▶4. | 高温度昇温機能 |
| 生物組織等の含水状態のままのレプリカ作製、低融点物質、可塑性物質の破断面レプリカの作製などに有効です。HFZ-1型用付属装置のFE-1型エッチングユニットを使用すれば、表面昇華によるエッチングの機能が付加できます。 | |
| ▶5. | 蒸着膜厚モニタ |
| ジンバル機構に組込むことのできる専用の膜厚モニタです。水晶発振子をモニタとして、周波数変化により膜厚を測定します。取付には、フィードスルを必要とします。 |
性能・仕様
| ベルジャー | ベルジャー上下機構付 軟質ガラス製(保護カバー付) Φ246〈Φ230)×240H |
| 到達真空度 | ×10⁻⁴Pa以下(LN2使用) |
| 排気系 | 手動操作 油回転ポンプ C-150型 油拡散ポンプ OFJ-25N型 LN2トラップ NS-65S型 |
| 蒸着用端子 | 100A用2対 1基2対用切換スイッチ付 (0~30V×50A) |
| シャッター機構 | 1式 |
| 試料台 | 100角 1式 |
| 真空計 | ペニング真空計 電離真空計 HI-801型 |
| 所要電力 | 100V 50Hz 3KVA |
| 冷却水 | 2l/min |
| 重 量 | 150kg |
| 寸 法 | W650×D850×1,300H |
標準内訳
| 本 体 | EG-200型 |
| 油回転ポンプ | 1台 |
| 水道ホース | 20m |
| 電源コード | 10m |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
▶真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置