高性能
エレクトロニクス革新に、真空蒸着の御要望を総て採りいれました。
高真空蒸着装置
EM-500型
特 長
DEVICE INFORMATION
近年あらゆる分野に活躍しております真空蒸着装置、特にエレクトロニクスの急速な技術革新に伴い、高信頼、高能率と益々高度化した要望が多くなっております。株式会社 東京真空ではこの要望を達成すべく以下の点に注力しました。
〇省力化のための自動方式。
〇瞬間排気で蒸着する。
〇クリーンな膜をつくる。
〇各種オプションで多岐に利用。
〇保守が容易。
〇標準化による低コスト等にポイントをおき、豊富な実績、経験、技術から多くの改良を重ね、ここにEM-500型高性能真空蒸着装置を標準化。
株式会社 東京真空が自信をもってお勧めできる製品であることを確信しております。
High Powered、High Vacuum Coater
薄膜ハイブリットIC、干渉フィルター、半導体、薄膜抵抗素子、反射防止膜、磁性薄膜、水晶振動子電極、マイクロモジュール、透明導電膜
| ▶1. | 大型排気系、OFJ-10DPユニット系を組合せ排気抵抗をおさえ、大気圧より10⁻⁴Pa→6minと素早い排気と到達圧力10⁻⁵Pa(10⁻⁶Pa)の条件で蒸着でき処理能力も従来に比較して大巾にアップします。 |
| ▶2. | クリーンバキュームで蒸着膜のポイントである非常にクリーンな膜が出来ます。 |
| ▶3. | 自動操作方式により大幅に省力化、合理化に貢献致します。(オプション欄参照) |
| ▶4. | 用途が多岐に利用できるように豊富なオプションを準備してあります。 |
| ▶5. | 外観もスマートにまとめ蒸着機本体と制御盤を分離して、又ベルジャータイプで蒸着の準備、掃除も非常にやりやすく、保守が容易な構造になっております。 |
| ▶6. | ベルジャーの昇降も押ボタン操作で非常に静かに昇降します。又停電、断水を警報ブザー、バルブの自動開閉(A･S型)警報ランプ等を装備してあり、安全対策も万全で誰でも操作できます。 |
| ▶7. | 標準、量産化により従来の蒸着装置に比較して大幅に低コストになっております。 |
性能・仕様
| 型 式 | EM-500(手動)(A)自動 (S)全自動 |
| ベルジャー | 内径Φ500×高さ500H SUS304製 ベルジャー上下機構付 |
| 到達真空度 | 3×10⁻⁵Pa以下(LN2使用) |
| 排気時間 | 大気圧より10⁻³Pa台まで5min以内 大気圧より10⁻⁴Pa台まで6min以内(LN2使用) 大気圧より10⁻⁵Pa台まで12min以内(LN2使用) |
| 排気系 | 手動、自動(A) 全自動(S) 操作式 油回転ポンプ C-600(600l/min) 油拡散ポンプ OFJ-10(3,200l/sec) LN2トラップ NL-250 特殊(250A) |
| 蒸着用端子 | 100A用2対 (4本)(0~10V×100A) 1基2対用切換スイッチ付(0~20V× 50A) |
| 予備用端子 | 20A1P4本2対 ※内径φ38サービスポート 3ヶ付 |
| ハーメチックシール | 2P1対 |
| シャッター機構 | 1式 |
| 試料台 | 1式 |
| 真空計 | ガイスラー真空計 電離真空計(オプション) |
| 所要電力 | AC-200V 50/60Hz 6KVA 3φ |
| 冷却水 | 5l/min |
| 寸 法 | 本体1,100W×800D×1,648H 制御盤580W×750D×1,250H |
| オプション | ●直結型油回転ポンプ ●B-A型電離真空計 ●基板加熱ヒーター (シースヒーター・ハロゲンランプ・赤外線ランプ・Ni-Cr・ Mo・Ta・Wヒーター)および温調システム ●基板冷却システム及び温調システム ●フィードスルーカラー(各種サービスポート付) ●マイスナートラップシステム ●各種電極ホルダー ●同時蒸着電源システム ●全自動蒸着システム ●蒸着コンピューターシステム ●蒸着用電子銃及び電源システム ●マスク位置合せシステム ●イオンビーム蒸着システム ●ターボ･モレキュラーポンプシステム ●クライオポンプシステム ●イオンポンプシステム ●ソープションポンプシステム ●サブリメーションポンプシステム ●誘導加熱蒸発源及び電源システム ●スパッタ-リングシステム ●イオンプレーティングシステム ●膜厚モニターシステム |
オプション
▶直結型油回転ポンプ |
▶B-A型電離真空計 |
▶基盤加熱ヒーター(シースヒーター・ハロゲンランプ・赤外線ランプ・Ni-Cr・Mo・Ta・Wヒーター)及び温調システム |
▶基板冷却システム及び温調システム |
▶フィールドスルーカラー(各種サービスポート付) |
▶マイスナートラップシステム |
▶各種電極ホルダー |
▶同時蒸着電源システム |
▶全自動蒸着システム |
▶蒸着コンピューターシステム |
▶蒸着用電子銃及び電源システム |
▶マスク位置合せシステム |
▶イオンビーム蒸着システム |
▶ターボ、モレキュラーポンプシステム |
▶クライオポンプシステム |
▶イオンポンプシステム |
▶ソープションポンプシステム |
▶サブリメーションポンプシステム |
▶誘導加熱蒸発源及び電源システム |
▶スパッターリングシステム |
▶イオンプレーティングシステム |
▶膜厚モニターシステム |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
▶真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置
xa＋yb
H2O, CO2
42, 100m2
BN
100m2
H2O