クリーン真空MINI-VAC-90型の全自動運転タイプ
クリーン真空MINI-VAC-90型の全自動運転タイプ
高温真空雰囲気炉
MINI-VAC-90A / MINI-VAC-90A(NT型)【NEW】
特 長
小型真空雰囲気炉MINI-VACは各方面の御好評をいただき、多数の実績をあげることができました。 またMINI-VACを使用した熱処理の生産性を重視したMINI-VAC-90Aとして全自動型を提供いたすこととなりました。新素材開発、材料改質、表面処理など、各真空雰囲気熱処理のキーツールとして御活用くださることを期待します。
DEVICE INFORMATION
▶引張試験機への組込み機能
多数の真空高温炉実績によるノウハウ活用
▶高い均熱性と早い昇温時間
Mo均熱板と大容量Moヒーターの採用
▶クリーン真空
オールメタルのヒーター、反射板、放出ガス量僅少
▶抜群の操作性、コンパクト構成
自動/手動運転可能、タッチパネル操作、プログラム温度制御
▶不活性ガス雰囲気の利用可能
高真空とガス雰囲気との相補性の利用
▶メンテナンス容易
ヒーター、反射板一体構造、ワンタッチ脱着
※MINI-VACシリーズのヒーター移行可能
MINI-VAC-90A
| ▶焼結 | ▶焼成 | ▶光輝処理 | ▶焼鈍 |
| ▶ロウ付 | ▶脱ガス | ▶不純物除去 | ▶乾燥 |
| ▶表面処理 | ▶表面改質 | ▶金属 | ▶セラミックス |
| ▶傾斜材料 | ▶新素材 | ▶エレクトロニクス材 | ▶センサ素子 |
| ▶表面改質材 |
性能・仕様
| 型 式 | MINI-VAC-90A |
|---|---|
| 構 造 | 横型、前面扉、Mo線ヒーター、内熱炉 |
| 寸 法 | 有効均熱部 Φ130×100L ヒーター内寸法 Φ150×170L 標準装備試料台 100W×150L(Mo板) 真空槽(水冷コイル付) Φ230×290L(SUS304) |
| 温 度 | 最高1300℃(真空) 常用500℃~1200℃(真空) 昇温速度 最大20℃/min 均熱 ±10℃(真空、無負荷) 制御 デジタルプログラムPID調節 |
| ガス導入排出系 | ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁 流量計(Ar用 0~10 l/min) |
| 真 空 | 到達 ×10⁻⁴Pa(常温、空積、脱ガス後) 排気時間 大気圧→×10⁻³Pa、30分以内(常温、空積 |
| 排気系 | 油拡散ポンプ OFK-3US(400ｌ/s)3インチ ※ターボ分子ポンプ(210 l/s)４インチ 高真空主弁 BV-3AXO(3インチ) 荒引弁、補助弁付 |
| 真空計 | 複合型真空計 1.3×10¹~1.3×10⁻⁵Pa 連成計 Φ60、DU1/4 -0.1~0.1MPa |
| ガス導入 | 雰囲気ガス 不活性ガス、N2、Ar 圧力 真空~0.02MPa 標準装備 導入電磁弁、排出電磁弁、流量計 |
| 電気・計測設備 | デジタルプログラム温度調節計(16パターン以上) 記録計(ハイブリッド型、6打点) ※ペーパーレス記録計 制御用熱電対 R、実測用熱電対 R、ヒーター用電流計 30A |
| 安全設備 | 断水警報回路、過昇温警報回路、駆動エア警報、導入ガス圧警報、加圧異常警報、非常停止 |
| ユーティリティ | 電力200V 3φ、50/60Hz、6kVA ※冷却水0.1~0.3MPa、25℃以下、20 l/min以上 ※冷却水循環装置(チラーユニット) 導入ガス0.2MPa |
| 寸法・重量 | 620W×570D×1、465H、約300kg |
※オプション品とする
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置、イージーオーダー装置