真空高温炉(MINI-VAC-90A型)自動

クリーン真空MINI-VAC-90型の全自動運転タイプ

  • MINI-VAC-90A 高温真空雰囲気炉

クリーン真空MINI-VAC-90型の全自動運転タイプ


高温真空雰囲気炉


 MINI-VAC-90A / MINI-VAC-90A(NT型)【NEW】


特 長

小型真空雰囲気炉MINI-VACは各方面の御好評をいただき、多数の実績をあげることができました。 またMINI-VACを使用した熱処理の生産性を重視したMINI-VAC-90Aとして全自動型を提供いたすこととなりました。新素材開発、材料改質、表面処理など、各真空雰囲気熱処理のキーツールとして御活用くださることを期待します。

DEVICE INFORMATION

引張試験機への組込み機能
多数の真空高温炉実績によるノウハウ活用
高い均熱性と早い昇温時間
Mo均熱板と大容量Moヒーターの採用
クリーン真空
オールメタルのヒーター、反射板、放出ガス量僅少
抜群の操作性、コンパクト構成
自動/手動運転可能、タッチパネル操作、プログラム温度制御
不活性ガス雰囲気の利用可能
高真空とガス雰囲気との相補性の利用
メンテナンス容易
ヒーター、反射板一体構造、ワンタッチ脱着
※MINI-VACシリーズのヒーター移行可能

MINI-VAC-90A

焼結焼成光輝処理焼鈍
ロウ付脱ガス不純物除去乾燥
表面処理表面改質金属セラミックス
傾斜材料新素材エレクトロニクス材センサ素子
表面改質材

 

性能・仕様

 

型  式MINI-VAC-90A
構  造横型、前面扉、Mo線ヒーター、内熱炉
寸  法有効均熱部  Φ130×100L
ヒーター内寸法  Φ150×170L
標準装備試料台  100W×150L(Mo板)
真空槽(水冷コイル付)  Φ230×290L(SUS304)
温  度最高1300℃(真空)  常用500℃~1200℃(真空)
昇温速度  最大20℃/min
均熱  ±10℃(真空、無負荷)
制御  デジタルプログラムPID調節
ガス導入排出系ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁
流量計(Ar用 0~10 l/min)
真  空到達  ×10⁻⁴Pa(常温、空積、脱ガス後)
排気時間  大気圧→×10⁻³Pa、30分以内(常温、空積
排気系油拡散ポンプ  OFK-3US(400l/s)3インチ
※ターボ分子ポンプ(210 l/s)4インチ
高真空主弁 BV-3AXO(3インチ)
荒引弁、補助弁付
真空計複合型真空計 1.3×10¹~1.3×10⁻⁵Pa
連成計  Φ60、DU1/4 -0.1~0.1MPa
ガス導入雰囲気ガス  不活性ガス、N2、Ar
圧力  真空~0.02MPa
標準装備  導入電磁弁、排出電磁弁、流量計
電気・計測設備デジタルプログラム温度調節計(16パターン以上)
記録計(ハイブリッド型、6打点)
※ペーパーレス記録計
制御用熱電対  R、実測用熱電対 R、ヒーター用電流計  30A
安全設備断水警報回路、過昇温警報回路、駆動エア警報、導入ガス圧警報、加圧異常警報、非常停止
ユーティリティ電力200V  3φ、50/60Hz、6kVA
※冷却水0.1~0.3MPa、25℃以下、20 l/min以上
※冷却水循環装置(チラーユニット)
導入ガス0.2MPa
寸法・重量620W×570D×1、465H、約300kg

※オプション品とする

営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置、イージーオーダー装置