真空部品

OFJ型油拡散ポンプ

弊社では、OFJ型油拡散ポンプを1~14インチまでラインナップをそろえております。熱処理炉、真空蒸着などに用いられ高真空領域に幅広い分野で使用されております。

OFJ-2型
OFJ-3型
OFJ-4型
OFJ-6型
OFJ-8型
ゴールドトラップ、バッフル
NL型トラップ
NS型トラップ
CH-6a型
CH-4b型
各種バルブ他
仕様・規格

真空部品

真空部品2

ディメンジョン/ 型式OFJ-1OFJ-2OFJ-3OFJ-4OFJ-6OFJ-8OFJ-10OFJ-14
A 80φ120φ160φ185φ235φ300φ350φ450φ
a 810121212161620
B10φ80φ90φ105φ105φ120φ160φ185φ
b-881010101212
C 75100135170200250300350
D4085108100140190220319
E160255327350353435470754
吸気口ボルトサークル68φ100φ135φ160φ210φ270φ320φ420φ
ボルト穴数-ボルト穴径4-65φ4-M84-M108-M108-12φ8-15φ12-15φ12-15φ
ガスケットミゾ内径48φ-110φ136φ175φ225φ284φ380φ
ガスケットミゾ外形58φ87φ120φ146φ185φ241φ300φ396φ
ガスケットミゾ深さ333334.54.54.5
排気口ボルトサークル-60φ70φ85φ85φ100φ135φ160φ
ボルト穴数-ボルト穴径-4-10φ4-M84-M84-M84-M84-M108-M10
ガスケットミゾ内径-34φ40φ55φ55φ70φ100φ120φ
ガスケットミゾ外形-44φ50φ65φ65φ80φ110φ130φ
ガスケットミゾ深さ-2.5333333
冷却水口2-6φ2-10φ2-10φ2-10φ2-10φ2-10φ2-10φ6-12φ

真空部品資料3

■ノズルアッセンブリ
①Ho係数が平均50%を超えました。ノズルバランスの最適値がとらえられています。
②油逆流量が従来市販DPより非常に少なくなっています。トップノズルが他のポンプと違います。
③超高真空用CH-aバッフルこれをさらに減少させます。
④エグゼクターステージは臨界背圧を高め補助ポンプが小さくても高性能が得られます。
⑤チムニ内バッフルは突沸によって生じる油滴ノズルに進入することを防止し到達圧力の安定性を増しています。
■ボイラー及びヒーター
⑥熱変換効率がよくなり、且つ熱バランスが考慮されたボイラー構造で、排気速度の増大が計られています。関与する大きな要因です。
⑦ヒーターは長寿命、高絶縁型の特殊構造を開発いたしました。
⑧ボイラーのオイル純化系が変わりました。使用油の蒸気圧特性が完全に生きてきます。
⑨ボイラー蒸発面積、パワー比適正値設計等ボイラー内部は逆拡散、沸騰の原因、誘因と考えられるすべてについて改良されました。
■ケーシング
⑩溶接技術の進歩が実口径のアップを可能にしました。
⑪全長が短縮されました。軽量取付容易という利点だけではありません。スピードの増大に寄与します。
⑫材質はもとより内面は細心の注意をはらって処理されており放出ガス量を最小にしています。