高速排気蒸着装置(EG-240型)

大気圧→10⁻⁴Pa→2min

  • 高速排気蒸着装置(EG-240型)

大気圧→10⁻⁴Pa→2min


高速排気蒸着装置


EG-240型


特 長

最近の蒸着作業は、素早く蒸着でき、より以上に効率が良く、クリーンなバキュームが要求されてきております。
株式会社 東京真空では、常識を破り、不動の定評を得ておりますOFJシリーズの大型排気系をEG-240型にとりつけ、おもいきってパワーアップをしました。
外観も美しくコンパクトな真空蒸着装置です。

▶1.大型排気系(300l/minRP.700l/secDP)の為高速排気で素早く蒸着できます。
処理能力従来比の約5倍。
▶2.OFJオイルフリーユニット系を採用油流派量10⁻⁹mg/cm²、min以下のクリーンバキュームです。
▶3.操作性に重点をおき、ベルジャーはスライド方式の上下機構で非常に便利です。
▶4.ジンバル機構を付属すると、電子顕微鏡の試料作成の専用機になります。
▶5.コンパクトにまとめ,本体はキャスター付で移動に便利です。
▶6.100A.1KVAの蒸着端子2対の切換もできます。
▶7.各種の特別付属品を多数準備しております。
性能・仕様

 

型  式 EG-240
ベルジャー Φ246〈Φ230)×240H軟質ガラス製(保護カバー付)
ベルジャー上下機構付(スライド方式)
到達真空度 4×10⁻⁵Pa以下(LN2使用)
排気時間 大気圧より10⁻³Pa台まで1min以内
大気圧より10⁻⁴Pa台まで2min以内(LN2使用)
大気圧より10⁻⁵Pa台まで15min以内(LN2使用)
排気系 手動操作式、直結型油回転ポンプ(310/260l/min)
油拡散ポンプ OFJ-4(700l/sec)、トラップ NL-100(100A)
蒸着用端子 100A用2対 (4本)
1基2対用切換スイッチ付(0~10V×100A、0~20V×50A)
予備用端子 20A(MAX) 2本
ハーメチックシール 2P1対
シャッター機構 1式
試料台 1式
真空計 ガイスラー真空計 電離真空計
所要電力 200V 50/60Hz 4.0KVA 3φ
冷却水 3.0l/min
寸 法 750W×550D×1,380H
オプション ピラニー真空計、試料加熱ヒーター、カーボン蒸着端子、
試料加熱用温調及び電源、同時蒸着電源(1KVA)
営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置