大気圧→10⁻⁴Pa→2min
大気圧→10⁻⁴Pa→2min
高速排気蒸着装置
EG-240型
特 長
最近の蒸着作業は、素早く蒸着でき、より以上に効率が良く、クリーンなバキュームが要求されてきております。
株式会社 東京真空では、常識を破り、不動の定評を得ておりますOFJシリーズの大型排気系をEG-240型にとりつけ、おもいきってパワーアップをしました。
外観も美しくコンパクトな真空蒸着装置です。
| ▶1.大型排気系(300l/minRP.700l/secDP)の為高速排気で素早く蒸着できます。 処理能力従来比の約5倍。 |
| ▶2.OFJオイルフリーユニット系を採用油流派量10⁻⁹mg/cm²、min以下のクリーンバキュームです。 |
| ▶3.操作性に重点をおき、ベルジャーはスライド方式の上下機構で非常に便利です。 |
| ▶4.ジンバル機構を付属すると、電子顕微鏡の試料作成の専用機になります。 |
| ▶5.コンパクトにまとめ,本体はキャスター付で移動に便利です。 |
| ▶6.100A.1KVAの蒸着端子2対の切換もできます。 |
| ▶7.各種の特別付属品を多数準備しております。 |
性能・仕様
| 型 式 | EG-240 |
| ベルジャー | Φ246〈Φ230)×240H軟質ガラス製(保護カバー付) ベルジャー上下機構付(スライド方式) |
| 到達真空度 | 4×10⁻⁵Pa以下(LN2使用) |
| 排気時間 | 大気圧より10⁻³Pa台まで1min以内 大気圧より10⁻⁴Pa台まで2min以内(LN2使用) 大気圧より10⁻⁵Pa台まで15min以内(LN2使用) |
| 排気系 | 手動操作式、直結型油回転ポンプ(310/260l/min) 油拡散ポンプ OFJ-4(700l/sec)、トラップ NL-100(100A) |
| 蒸着用端子 | 100A用2対 (4本) 1基2対用切換スイッチ付(0~10V×100A、0~20V×50A) |
| 予備用端子 | 20A(MAX) 2本 |
| ハーメチックシール | 2P1対 |
| シャッター機構 | 1式 |
| 試料台 | 1式 |
| 真空計 | ガイスラー真空計 電離真空計 |
| 所要電力 | 200V 50/60Hz 4.0KVA 3φ |
| 冷却水 | 3.0l/min |
| 寸 法 | 750W×550D×1,380H |
| オプション | ピラニー真空計、試料加熱ヒーター、カーボン蒸着端子、 試料加熱用温調及び電源、同時蒸着電源(1KVA) |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
▶真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置