新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質
横型イージーローディング、メタルヒータークリーン設計
横型高温真空雰囲気炉
MULTI-VAC-1 / MULTI-VAC-1s / MULTI-VAC-2s
特 長
▶高温真空炉のトップメーカー東京真空が多数の納入実績のなかから厳選してシリーズ化したのが、 MULTI-VAC型高温真空炉です。
▶メタルヒーター、メタル反射板のクリーン設計、分割ヒーター制御の均熱向上設計、前面と扉全開 方式によるイージーローディングなど、お客様のマルチなニーズに100％お応えできる装置です。
DEVICE INFORMATION
▶横型、前面扉全開方式のため試料の装着、取出しが容易です。
▶モリブデン線ヒーター、モリブデン主体反射板の構成により、それからの脱ガス量が少なく、高性能排気系の採用で高真空クリーン環境での処理が可能です。
▶ヒーターは円筒３分割制御(MULTI-VAC1・2)とし、炉内均熱度は最高です。
▶多数の実績のある真空高温炉から厳選してシリーズ化したもので、短納期、低価格、高性能、高信頼性でお客様のニーズにお応えします。
▶豊富なオプションにより多様な仕様拡大が計れます。
性能・仕様
| 型 式 | MULTI-VAC1 | MULTI-VAC2 |
| 到達真空温度 | 10⁻⁴Pa台(常温・空積) | |
| 温 度 | 最高1,350℃、常温1,200℃ | |
| 均 熱 | ±5℃ | |
| 有効均熱体 | Φ200×300L | Φ350×400L |
| ヒーター内寸法 | Φ200×440L | Φ350×520L |
| 真空槽寸法 | Φ360×530L | Φ540×650L |
| ヒーター制御 | デジタルプログラムPID温調計 1台 デジタルPID温調計 2台 制御用熱電対 3対 | |
| ヒーター | 円筒3分割 | 円筒3分割 |
| 標準排気系 | 手動 油拡散ポンプ ロータリーポンプ | |
| 標準附属 | 電離真空計、ピラニ真空計、連成計、記録計 | |
| 雰囲気 | 真空、不活性ガス(N2、Ar) | |
| 標準附属ガス導入系 | 流量計、流量調整弁 | |
| 電 力 | 20kW | 32kW |
| 冷却水 | 20 l/min | 30 l/min |
| 装置標準寸法 | 1,870W×920D ×1,500H | 2,000W×1,100D ×1,670H |
| オプション | 大容量排気系(大口経油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ)、 ガス導入系増設 高性能排気系(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ)、 ガス流量調節(マスフローコントローラー) 自動排気系(プログラムシーケンサ)、ガス精製装置（脱酸素、脱水分） その他多機能のオプション仕様に付いては“お問合わせ”でご連絡下さい。 | |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
▶真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置