横型真空雰囲気炉(MULTI-VAC型)

新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質

  • 横型高温真空雰囲気炉

横型イージーローディング、メタルヒータークリーン設計


横型高温真空雰囲気炉


MULTI-VAC-1 / MULTI-VAC-1s / MULTI-VAC-2s


特 長

高温真空炉のトップメーカー東京真空が多数の納入実績のなかから厳選してシリーズ化したのが、 MULTI-VAC型高温真空炉です。
メタルヒーター、メタル反射板のクリーン設計、分割ヒーター制御の均熱向上設計、前面と扉全開 方式によるイージーローディングなど、お客様のマルチなニーズに100%お応えできる装置です。

横型高温真空雰囲気炉


DEVICE INFORMATION

横型、前面扉全開方式のため試料の装着、取出しが容易です。
モリブデン線ヒーター、モリブデン主体反射板の構成により、それからの脱ガス量が少なく、高性能排気系の採用で高真空クリーン環境での処理が可能です。
ヒーターは円筒3分割制御(MULTI-VAC1・2)とし、炉内均熱度は最高です。
多数の実績のある真空高温炉から厳選してシリーズ化したもので、短納期、低価格、高性能、高信頼性でお客様のニーズにお応えします。
豊富なオプションにより多様な仕様拡大が計れます。

性能・仕様

 

型  式 MULTI-VAC1 MULTI-VAC2
到達真空温度 10⁻⁴Pa台(常温・空積)
温  度 最高1,350℃、常温1,200℃
均  熱 ±5℃
有効均熱体 Φ200×300L Φ350×400L
ヒーター内寸法 Φ200×440L Φ350×520L
真空槽寸法 Φ360×530L Φ540×650L
ヒーター制御 デジタルプログラムPID温調計 1台
デジタルPID温調計 2台
制御用熱電対 3対
ヒーター 円筒3分割 円筒3分割
標準排気系 手動
油拡散ポンプ
ロータリーポンプ
標準附属 電離真空計、ピラニ真空計、連成計、記録計
雰囲気 真空、不活性ガス(N2、Ar)
標準附属ガス導入系 流量計、流量調整弁
電  力 20kW 32kW
冷却水 20 l/min 30 l/min
装置標準寸法 1,870W×920D
×1,500H
2,000W×1,100D
×1,670H
オプション 大容量排気系(大口経油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ)、
ガス導入系増設
高性能排気系(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ)、
ガス流量調節(マスフローコントローラー)
自動排気系(プログラムシーケンサ)、ガス精製装置(脱酸素、脱水分)
その他多機能のオプション仕様に付いては“お問合わせ”でご連絡下さい。
営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置