VLSI・光半導体 | 宇宙・核融合用材 | 新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質
ターボ分子ポンプ搭載
真空高温炉10⁻⁵Pa・1300°C(MAX 1400℃)
TV-1300R / TV-1500R
特 長
高速性
▶エネルギートータルバランスの最適値を追求した炉体設計が、高速の昇降温を可能にしました。
▶高速性能は一日当りの生産量、実験回数増による情報量の増大に寄与します。
クリーンな真空・雰囲気
▶排気系はターボ分子ポンプを搭載。ドライな真空、ピュアーな雰囲気の中での高温処理が可能です。
▶高速昇降温との相乗効果が得られます。
フルオート操作
▶真空センサー、ガス圧センサーとマイクロプロセッサー内蔵のデジタルプログラム調節計の組み合わせによるフルオートシステム採用。所定プログラム設定後スタートスイッチによるワンプッシュ操作です。
快速メンテナンス
▶ヒーター、リフレクター一体構造の炉体で、脱着とメンテナンスが容易です。
性能・仕様
| 型 式 | TV-1300R |
|---|---|
| 炉体構成 | 横型内熱方式 |
| システム | 排気・昇温(真空、雰囲気選択)・ガス冷却降温フルオートシステム |
| 排気系 | 160 l/sec ターボ分子ポンプ 320 l/min 直結型ロータリーポンプ |
| ガス導入排出系 | ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁 流量計(Ar用 0~10 l/min) |
| 加熱方法 | Mo抵抗加熱、200V 3P 12kVA |
| 温度(真空) | 常温1300℃、最高1400℃ |
| 炉内容積 | 150φ×200L(試料台100W×170L) |
| 均熱(真空･無負荷) | 100W×100H×150Lにおいて1300℃保持 ±3℃ |
| 炉内雰囲気 | 真空・Ar・N2 |
| 到達圧力 | 10⁻⁵Pa(無負荷・常温) |
| 真空計 | 電離真空計(1.3×10-1～1.3×10⁻⁵Pa) 圧力連成計(-0.1～0.1MPa) |
| 温度制御 | デジタルプログラムPID温度制御 |
| 測 温 | R熱電対 |
| 記録計 | 6打点 100mm巾ハイブリッド型 |
| 昇温速度 | 最高100℃/min(真空・無負荷) |
| 降温速度 | 1300℃→100℃/約80分(無負荷・Ar冷却) |
| ユーティリティ | 電力:200V 3P 15kVA、冷却水:20 l/min 0.2~0.3MPa 25℃ |
| キャビネット | 670W×650D×1550H、オールインワン型、キャスター付 重量 約400kg、前面開閉式デスク付 |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置