真空高温炉(TV1300R型)

VLSI・光半導体 | 宇宙・核融合用材 | 新素材・新機能材 | 新表面・新表面改質

  • 真空高温炉

ターボ分子ポンプ搭載


真空高温炉10⁻⁵Pa・1300°C(MAX 1400℃)


TV-1300R / TV-1500R


特 長


高速性

エネルギートータルバランスの最適値を追求した炉体設計が、高速の昇降温を可能にしました。
高速性能は一日当りの生産量、実験回数増による情報量の増大に寄与します。


クリーンな真空・雰囲気

排気系はターボ分子ポンプを搭載。ドライな真空、ピュアーな雰囲気の中での高温処理が可能です。
高速昇降温との相乗効果が得られます。


フルオート操作

真空センサー、ガス圧センサーとマイクロプロセッサー内蔵のデジタルプログラム調節計の組み合わせによるフルオートシステム採用。所定プログラム設定後スタートスイッチによるワンプッシュ操作です。


快速メンテナンス
ヒーター、リフレクター一体構造の炉体で、脱着とメンテナンスが容易です。


性能・仕様

 

型 式 TV-1300R
炉体構成 横型内熱方式
システム 排気・昇温(真空、雰囲気選択)・ガス冷却降温フルオートシステム
排気系 160 l/sec ターボ分子ポンプ
320 l/min 直結型ロータリーポンプ
ガス導入排出系 ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁
流量計(Ar用 0~10 l/min)
加熱方法 Mo抵抗加熱、200V  3P  12kVA
温度(真空) 常温1300℃、最高1400℃
炉内容積 150φ×200L(試料台100W×170L)
均熱(真空・無負荷) 100W×100H×150Lにおいて1300℃保持  ±3℃
炉内雰囲気 真空・Ar・N2
到達圧力 10⁻⁵Pa(無負荷・常温)
真空計 電離真空計(1.3×10-1~1.3×10⁻⁵Pa)
圧力連成計(-0.1~0.1MPa)
温度制御 デジタルプログラムPID温度制御
測 温 R熱電対
記録計 6打点  100mm巾ハイブリッド型
昇温速度 最高100℃/min(真空・無負荷)
降温速度 1300℃→100℃/約80分(無負荷・Ar冷却)
ユーティリティ 電力:200V 3P 15kVA、冷却水:20 l/min  0.2~0.3MPa  25℃
キャビネット 670W×650D×1550H、オールインワン型、キャスター付
重量  約400kg、前面開閉式デスク付
営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置