真空高温炉(MINI-VAC-90型)

クリーン真空

  • 真空高温炉(MINI-VAC-90型)

クリーン真空


高温真空雰囲気炉


MINI-VAC-90


特 長

高真空技術のパイオニア東京真空が総力をあげて開発した小型真空雰囲気炉MINI-VACは各方面の御好評をいただき、多数の実績をあげることができました。 今般、一層の操作性、信頼性の向上を期してモデルチェンジを行い、MINI-VAC-90として提供いたすこととなりました。 新素材開発、材料改質、表面処理など、各真空雰囲気熱処理のキーツールとして御活用くださることを期待します。

DEVICE INFORMATION

引張試験機への組込み機能
多数の真空高温炉実績によるノウハウ活用
高い均熱性と早い昇温時間
Mo均熱板と大容量Moヒーターの採用
クリーン真空
オールメタルのヒーター、反射板、放出ガス量僅少
抜群の操作性、コンパクト構成
ワンハンドル操作、プログラム温度制御
不活性ガス雰囲気の利用可能
高真空とガス雰囲気との相補性の利用
メンテナンス容易
ヒーター、反射板一体構造、ワンタッチ脱着

MINI-VAC-90

焼結 焼成 光輝処理 焼鈍
ロウ付 脱ガス 不純物除去 乾燥
表面処理 表面改質 金属 セラミックス
傾斜材料 新素材 エレクトロニクス材 センサ素子
表面改質材

 

性能・仕様

 

型  式 MINI-VAC-90
構  造 横型、前面扉、Mo線ヒーター、内熱炉
寸  法 有効均熱部  Φ130×100L
ヒーター内寸法  Φ150×170L
標準装備試料台  100W×150L(Mo板)
真空槽(水冷コイル付)  Φ230×290L(SUS304)
温  度 最高1300℃(真空)  常用500℃~1300℃(真空)
昇温速度  最大20℃/min
均熱  ±10℃(真空、無負荷)
制御  デジタルプログラムPID調節
ガス導入排出系 ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁
流量計(Ar用 0~10 l/min)
真  空 到達  ×10⁻⁴Pa(常温、空積、脱ガス後)
排気時間  大気圧→×10⁻³Pa、30分以内(常温、空積
排気系 油拡散ポンプ  OFK-3US(400l/s)
ロータリーポンプ  C150(150 l/min)
高真空弁  MCOF-80S
真空計 電離真空計  HI-961、1.3×10⁻¹~1.3×10⁻⁵Pa
ペニング真空計  PM-1、10-1~10⁻³Pa
連成計  Φ60、DU1/4
ガス導入 雰囲気ガス  不活性ガス、N2、Ar
圧力  真空~0.02MPa
標準装備  導入電磁弁、排出電磁弁、流量計
電気・計測設備 デジタルプログラム温度調節計(7パターン以上)
記録計(ハイブリッド型、6打点)
熱電対  R、ヒーター電流計  30A
安全設備 断水警報回路、過昇温警報回路
ユーティリティ 電力200V  1φ、50/60Hz、6kVA
冷却水0.1~0.3MPa、25℃以下、10 l/min以上
導入ガス0.2MPa
寸法・重量 550W×480D×1、465H、約250kg
営業品目

真空コンポーネント
ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品


真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製


●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD


●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置、イージーオーダー装置