1,200℃、10⁻³Pa、Ar、･･････の高温度、高真空、ガス雰囲気中での熱処理を生産、研究に！
水冷ジャケット、搭載
真空高温炉(10⁻⁴Pa)
MINI-VAC-NT
特 長
近年の急速な技術革新のテンポにともない「品質の向上、生産、新製品の開発」に顕著なものがあり、高真空中での熱処理は近代工業にはますます不可欠なものになっております。
MINI-VACは不動の定評を得て東京真空の「真空炉技術」から開発されたもので、真空炉のイメージを大きく変えました。
高性能に使いやすさがプラスされて向上関係、大学、研究機関、検査所は勿論、最近では個人用にも使用され“万能”ぶりを発揮しております。
▶ワンタッチの真空操作
特殊な操作技術が必要でなくワンハンドルで高真空が得られます。
▶温度調節および温度分布が抜群に良い
ヒーター構造が周囲と後部にもあり温度上昇も早く、温度分布はもちろん温調もP.I.D動作のため 800℃±3℃の精密な温度制御です。
▶雰囲気の万能性
高真空はもちろん不活性ガスに使用できMINI・VAC-1型は低真空、酸化雰囲気でも使用できます。
▶高速昇温
金属ヒーター、反射板を使用した特別構造で耐火物、カーボンを使用した炉に比較して昇温が早い。
▶附属機構もつけられます
上面に予備ブランチがあり色々工夫して各機構がつけられます。(例 8Pハーメチックシール)
▶有効容積が大きい
小型の真空炉ですが内部の有効容積は横式丸型で非常に大きく設計されております。
(150φ×170L、100×150の棚付)
▶安全性
誤操作、断水および停電による油回転ポンプ油の逆流等の保安回路が完全です。
▶真空槽はステンレス製です
ステンレス製のため、いつまでも錆びず美しく、試料に対する不純物の影響もありません。
▶外部の熱公害はありません
加熱槽の外部は水冷されており、さらにキャビネットタイプになっており周囲の放熱は完全断熱です。
▶節電タイプ
保温材に耐火物等を使っておりませんのでムダのない省電力で加熱できます。
▶ドアーは前びらきタイプ
ドアーは前びらきのため、非常に操作しやすく少量の台にも使用できます。
▶各計器類が装備しております
ペニング真空計、連成計、プログラム・コントローラー、電流計が装備されており正確なデータが とれます。
▶スマートでコンパクトです
非常にコンパクトで美しいキャビネットです。事務机に置いても使用できます。
▶各種アクセサリの応用
制御盤付架台(MV-01)、予備フランジ(MV-02)、外熱炉用マニホールド(MV-03)、 急冷用マニホールド(MV-04)、その他いろいろのアクセサリが多数応用できます。
MINI-VAP
▶材料の光輝焼鈍、ロウ付 | ▶活性金属の焼結 |
▶真空乾燥 | ▶環境試験 |
▶特殊管のロウ付 | ▶ニューセラミックスの焼成 |
▶歯科材料の焼成 |
性能・仕様
| 型 式 | MINI-VAC-NT |
|---|---|
| 構 造 | 横型、前面扉、Mo線ヒーター、内熱炉 |
| 寸 法 | 有効均熱部 Φ130×100L ヒーター内寸法 Φ150×170L 標準装備試料台 100W×150L(Mo板) 真空槽 Φ230×290L(SUS304) |
| 温 度 | 最高1300℃(真空) 常用500℃~1200℃(真空) 昇温速度 最大20℃/min 均熱 ±10℃(真空、無負荷) 制御 デジタルプログラムPID調節 |
| ガス導入排出系 | ガス(雰囲気・冷却:Ar・N2)導入・排出電磁弁 |
| 真 空 | 到達 ×10⁻⁴Pa(常温、空積、脱ガス後) 排気時間 大気圧→×10⁻³Pa、30分以内(常温、空積) |
| 排気系 | 油拡散ポンプ OFK-3US(400ｌ/s) ロータリーポンプ GLD505(200 l/min) 高真空弁 MCOF-80S |
| 真空計 | ペニング真空計 PM-1、10⁻¹～10⁻⁴Pa 連成計 Φ60、DU1/4 |
| ガス導入 | 雰囲気ガス 不活性ガス、N2、Ar 圧力 真空~0.02MPa 標準装備 導入電磁弁、排出電磁弁、流量計 |
| 電気・計測設備 | デジタルプログラム温度調節計(19パターン以上) 熱電対 R、ヒーター電流計 30A |
| 安全設備 | 断水警報回路、過昇温警報回路 |
| ユーティリティ | 電力200V 3φ、50/60Hz、6kVA 冷却水0.1~0.3MPa、25℃以下、10 l/min以上 導入ガス0.2MPa |
| 寸法・重量 | 550W×550D×1、465H、約250kg |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置