1,100℃±1℃、10⁻⁵Pa、Ar、N2、Air…各種雰囲気中での精密熱処理にお応えする
1,100℃±1℃、10⁻⁵Pa、Ar、N2、Air…各種雰囲気中での精密熱処理にお応えする
精密熱処理装置
TUBE-VAC-803 / TUBE-VAC-801 / TUBE-VAC-153
特 長
DEVICE INFORMATION
熱処理加工は近年あらゆる分野に関連しております。特に電子工学の急速な発展に伴い精密な熱処理が可能な装置として益々高度化した要望が多くなっております。株式会社 東京真空ではこの要望を達成すべく以下の技術に注力しています。
▶省電力のための自動方式
▶精密な温度分布
▶急速昇温
▶クリーンな処理
▶各種オプションで多目的に利用
▶保守が容易
また、標準化による低コスト等にポイントをおき豊富な実績、経験、技術から多くの改良をかさね、ここにTUBE-VAC型精密熱処理装置を標準化しました。株式会社 東京真空が自信をもってお勧めできる製品であることを確信しております。
主な製造物
ファインセラミックスの開発・製造に
| ▶焼鈍 | ▶焼結 | ▶拡散 | ▶エピタキシャル |
| ▶CVD | ▶液相成長 | ▶気相成長 | ▶熱酸化 |
| ▶焼入 | ▶電子材料のベーキング | ▶厚膜焼成 | ▶シリコンウェハーのアニール |
性能・仕様
| 型 式 | TUBE-VAC-803 | TUBE-VAC-801 | TUBE-VAC-153 |
| システム | 自動、炉芯管式(外熱式) | ||
| 温 度 | 1,100℃(MAX） | ||
| 外熱部寸法(mm) | Φ80(ID)×610 l | Φ80(ID)×610 l | Φ152(ID)×914 l |
| 均熱部部寸法(mm) | 1,100℃±1℃(5℃)300 l | 1,100℃±13℃(20℃)→250 l | 1,100℃±1℃(5℃)400 l |
| 有効寸法 (炉芯管) | Φ65(ID)×400 l 透明石英管(一端封じ) | Φ65(ID)×400 l 透明石英管(一端封じ) | Φ130(ID)×600 l SUS-310S(一端封じ) |
| 真空度 (圧力) | ×10⁻⁵Pa(空積) ~0~0.03MPa | ×10⁻⁵Pa(空積) ~0~0.03MPa | ×10⁻⁴Pa(空積) ~0~0.03MPa |
| 加熱方式 (材質) | 3ゾーン方式 (カンタルヒーター) | 1ゾーン方式 (カンタルヒーター) | 3ゾーン方式 (カンタルヒーター) |
| 雰囲気 | 各種雰囲気(高、低真空、不活性、Air) | ||
| 真空排気系 (空道・自動) | OFJ-4型油拡散ポンプ(700 l /sec) C-300型油回転ポンプ(300 l/min) | ||
| 真空計 | 連成計(-0.1MPa~0~0.1MPa) ガイスラー真空計 電離真空計(0.13Pa~1.3×10⁻⁵Pa) | ||
| 測 温 | PID式温度調節計(※) 温度指示調節計 記録計(※) | ||
| 温度制御 | プログラマー温度調節計 (※) | ||
| マニホールド | SUS-304 (冷却パイプ付き) | ||
| その他 | 炉芯管の材質及び有効径(炉内寸法以下)の変更はオプションを御利用下さい | ||
| 冷却方式 | ●電気炉自然冷却 ●電気炉移動方式 (※) ●炉芯管強制送風方式 (※) ●試料移動 (※） | ||
| 使用電力 | AC-200V7Kｗ、50/60Hz | AC-200V7Kｗ、50/60Hz | AC-200V15KVA、50/60Hz |
| 使用水力 | 3.5 l/min(0.2MPa) | 3.5 l/min(0.2MPa) | 4 l/min(0.2MPa) |
| 寸法(重量) | 約1,300W×920D ×1,400H | 約1,300W×920D ×1,400H | 約1,800W×1,000D ×1,550H |
※印はオプション扱いとなります。
オプション
| ▶電気炉、移動架台(T-01) | ▶透明石英炉芯管[一端封じ、両端開](T-02 |
| ▶不透明石英炉芯管[一端封じ、両端開](T-03) | ▶SUS-310S炉芯管[一端封じ、両端開](T-04) |
| ▶アルミナ炉芯管[一端封じ、両端開](T-04) | ▶チューブアダプター (T-10) |
| ▶両端方式用マニーホールド(T-09) | ▶炉芯管冷却用ファンシステム(T-06) |
| ▶真空、温度、自動システム(T-05) | ▶試料ローディングシステム(T-11) |
| ▶炉体部ローディングシステム(T-12) | ▶記録計 |
| ▶プログラマー調節器 | ▶精密温度調節 |
| ▶温度指示計 | ▶電離真空計 |
| ▶ピラニー真空計 | ▶ガス流量計（T-13) |
営業品目
真空コンポーネント
▶ロータリーポンプ、油拡散ポンプ、真空バルブ、真空計、真空部品
▶真空装置
●冶金装置
焼結、ホットプレス、ロウ付、熔解鋳造、焼鈍、焼入、熱処理、
アーク・プラズマ・EB応用炉、結晶製造精製
●真空コンポーネント
蒸着、スパッタ、イオンプレーティング、PVD、CVD
●真空コンポーネント
排気セット、材料試験、特注装置